真空镀膜-手套箱联用设备
型号规格：定制
生产厂家：
主要功能：
真空镀膜设备内集成了热蒸镀、磁控溅射两大模块，并且采用惰性气体手套箱联用设计，能够提供稳定的惰性气体氛围。其中热蒸镀加热范围可达800℃，磁控溅射配有三靶位，配置射频电源、直流电源两种激发模式，能够实现绝大多数半导体、导体靶材的镀膜实验条件。基于该设备，团队成员开发了一系列金属电极表面改性复合薄膜、表面包覆材料等功能结构材料，产出多篇SCI文章成果以及发明专利。
