台式扫描电子显微镜

型号规格：Phenom XL G2

生产厂家：荷兰

主要功能：

利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

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代表成果

1、Phenom XL G2 成为台式扫描电镜中腔室最大的，电镜腔室由原来的 32mm 扩容为 100mm x 100mm，一次可容纳至多 36 个 1/2 英寸样品台，测样效率进一步提高。自动马达样品台的移动范围为 X = 50mm，Y = 50mm（可选配X=100 mm,Y=100 mm）

2、Phenom XL 提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器

3、背散射电子探头性能依然优异，背散射电子信号强度跟样品成分衬度有关，可以和能谱良好结合起来

4、低电压下成像优势明显，低电压模式下，可以减少对样品的损伤，穿透，能观察到样品表面更真实的形貌

5、可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台，高低温样品台等功能性选件

6、Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件，如 3D 粗糙度重建系统，纤维统计分析测量系统，孔径统计分析测量系统等